Motion & Vibration Control
運動控制與振動控制

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度I高穩(wěn)定性運動控制產(chǎn)品

Feinixs的產(chǎn)品系列主要包含:線性位移、旋轉(zhuǎn)位移、垂直位移的運動控制產(chǎn)品,並提供配套的驅(qū)動控制器。

 

明立Meiritsu - 一家生產(chǎn)隔振臺和光學(xué)麵包板的製造商

產(chǎn)品涵蓋光學(xué)平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動除振平臺技術(shù)在國際間位居前列,在FPD領(lǐng)域集中的韓國,過關(guān)斬將,成為各大面板廠家設(shè)備的必選產(chǎn)品。已經(jīng)在中國、韓國設(shè)立工廠,為當?shù)乜蛻籼峁┒ㄑu化服務(wù)。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質(zhì)、有保障的產(chǎn)品和服務(wù)。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產(chǎn)品

提供各種精密光機產(chǎn)品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導(dǎo)軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

Feinixs的產(chǎn)品系列主要包含:線性位移、旋轉(zhuǎn)位移、垂直位移的運動控制產(chǎn)品,並提供配套的驅(qū)動控制器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍?泛的精密線性定位平臺, 用於實現(xiàn)精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉(zhuǎn)臺



    電動旋轉(zhuǎn)臺用於精確控制旋轉(zhuǎn)角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸位移,靈巧的設(shè)計讓升降臺可以應(yīng)用於空間受限的場景。

 

  • • 運動系統(tǒng)



    我們提供多軸的運動控制系統(tǒng),並確保系統(tǒng)精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控制驅(qū)動



    我們驅(qū)動控制覆蓋:伺服電機、壓電驅(qū)動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業(yè)知識和專業(yè)能力已經(jīng)生產(chǎn)了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業(yè)需求的不斷增長,如半導(dǎo)體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或?qū)嶒炦^程中因振動帶來的問題。

產(chǎn)品涵蓋光學(xué)平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動隔振平臺技術(shù)在國際間位居前列,在FPD領(lǐng)域集中的韓國,過關(guān)斬將,成為各大面板廠家設(shè)備的必選產(chǎn)品。已經(jīng)在中國、韓國設(shè)立工廠,為當?shù)乜蛻籼峁┒ㄑu化服務(wù)。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質(zhì)、有保障的產(chǎn)品和服務(wù)。

 

光學(xué)平臺系統(tǒng)

 

  • • AYA 系列-採用蜂窩結(jié)構(gòu)桌面的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩桌面空氣彈簧式隔振裝置,隔振性能升級,機構(gòu)多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構(gòu)增強了水平隔振性能。排除了垂直和水平各個方向的細微振動,滿足干涉儀和全息術(shù)等光學(xué)實驗的需要。此外,各結(jié)構(gòu)的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了面板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 光學(xué)和激光實驗

 

工作臺型光學(xué)隔振平臺

 

  • • ADZ-A 系列- 桌子型空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價比、隔振性能和可操作性的新型系列。
    ADZ-A系列是暢銷的ADZ系列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝面板尺寸。此外,為了使安裝在隔振器上的設(shè)備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創(chuàng)造了一種高性價比的隔振裝置,無論設(shè)備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應(yīng)用:


 

桌面型隔振平臺

 

  • • AVT系列- 桌面型空氣彈簧隔振平臺



    AVT系列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平臺
    此款臺式減振平臺採用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應(yīng)對不同的精密機器的特徵和隔振需求,且能夠簡易地構(gòu)建出高性能的隔振環(huán)境。

    典型應(yīng)用:

  • • ME系列-桌面型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌面型主動隔振平臺
    該平臺可以控制三個維度(六個自由度)的振動,同時連續(xù)監(jiān)測負載臺的振動。通過內(nèi)置的驅(qū)動器施加反向位的力,通過這種方式實現(xiàn)振動控制。

 

  • • AET系列- 桌面式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振系統(tǒng)的桌面式鋼蜂窩表面板空氣彈簧式隔振光學(xué)平臺
    隨著激光器本體和外圍設(shè)備的小型化以及光纖技術(shù)的改進,光學(xué)實驗通常不需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一系列許多桌面型隔振設(shè)備。AET系列將其與鋼蜂窩表面板相結(jié)合,是小面積光學(xué)實驗的理想隔振裝置。

    應(yīng)用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 系列- 氣動控制的主動隔振系統(tǒng)



    六自由度主動控制為所有自由度的振動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 系列是一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設(shè)備中。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 半導(dǎo)體

 

  • • MRZ系列-主動式氣懸浮系統(tǒng)



    在MAPS系列的基礎(chǔ)上,我們開發(fā)了高性能、合理的主動氣動懸架系統(tǒng)MRZ系列!

    應(yīng)用行業(yè):
    • 測量
    • 半導(dǎo)體工業(yè)

    應(yīng)用:
    • FPD、半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 系列產(chǎn)品是為精密儀器量身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振系統(tǒng)構(gòu)成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優(yōu)秀的性能外,更重視產(chǎn)品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝置就是我們的 AP 系列。該系列產(chǎn)品不僅擁有優(yōu)越的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP系列產(chǎn)品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環(huán)境。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 測量
    • 半導(dǎo)體

    應(yīng)用:

 

明立的隔振產(chǎn)品廣泛應(yīng)用於下列領(lǐng)域:

  • • 顯微鏡系統(tǒng)
  • • 光學(xué)和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導(dǎo)體制造和精密加工
  • • 納米表面分析
  • • 地震和防災(zāi)

 

埃賽力達的LINOS®光機器件使用高精密度的工程技術(shù)和高級的材料,可確保在科學(xué)研究和光子創(chuàng)新中,提供出色的穩(wěn)定性、可調(diào)節(jié)性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產(chǎn)品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導(dǎo)軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板系列可以作為所有光學(xué)實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結(jié)構(gòu),可用於實驗裝置中嚴格的光控制。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式系統(tǒng)

Microbench屬於原先的籠式光機系列,小巧緊湊,可精確居中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全面的光學(xué)和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經(jīng)過優(yōu)化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學(xué)器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學(xué)組件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X系列鏡座,可滿足科學(xué)領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和未安裝的光學(xué)器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench系統(tǒng)是一種精密的構(gòu)建系列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench系統(tǒng)更加緊湊。

 

LINOS調(diào)整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調(diào)整架,包括手動調(diào)節(jié)、線性調(diào)節(jié)、X-Y位移臺、旋轉(zhuǎn)位移臺和測角儀,測角儀有多種調(diào)節(jié)範圍和負載能力。

 

LINOS導(dǎo)軌系統(tǒng)

LINOS®導(dǎo)軌系統(tǒng)可用於構(gòu)建光學(xué)工作臺和光束轉(zhuǎn)向系統(tǒng)。堅固的鋁合金上的軸承表面經(jīng)過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導(dǎo)軌系統(tǒng)成為線性、平面甚至3維結(jié)構(gòu)的理想基座。

 

LINOS管式系統(tǒng)

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式系統(tǒng),用於要求較高的不透光、無塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機系統(tǒng)的補充。

 

菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度I高穩(wěn)定性運動控制產(chǎn)品

Feinixs的產(chǎn)品系列主要包含:線性位移、旋轉(zhuǎn)位移、垂直位移的運動控制產(chǎn)品,並提供配套的驅(qū)動控制器。

 

明立Meiritsu - 一家生產(chǎn)隔振臺和光學(xué)麵包板的製造商

產(chǎn)品涵蓋光學(xué)平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動除振平臺技術(shù)在國際間位居前列,在FPD領(lǐng)域集中的韓國,過關(guān)斬將,成為各大面板廠家設(shè)備的必選產(chǎn)品。已經(jīng)在中國、韓國設(shè)立工廠,為當?shù)乜蛻籼峁┒ㄑu化服務(wù)。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質(zhì)、有保障的產(chǎn)品和服務(wù)。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產(chǎn)品

提供各種精密光機產(chǎn)品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導(dǎo)軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

Feinixs的產(chǎn)品系列主要包含:線性位移、旋轉(zhuǎn)位移、垂直位移的運動控制產(chǎn)品,並提供配套的驅(qū)動控制器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍?泛的精密線性定位平臺, 用於實現(xiàn)精確平移運動。

 

  • • 電動旋轉(zhuǎn)臺



    電動旋轉(zhuǎn)臺用於精確控制旋轉(zhuǎn)角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸位移,靈巧的設(shè)計讓升降臺可以應(yīng)用於空間受限的場景。

 

  • • 運動系統(tǒng)



    我們提供多軸的運動控制系統(tǒng),並確保系統(tǒng)精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控制驅(qū)動



    我們驅(qū)動控制覆蓋:伺服電機、壓電驅(qū)動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業(yè)知識和專業(yè)能力已經(jīng)生產(chǎn)了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業(yè)需求的不斷增長,如半導(dǎo)體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或?qū)嶒炦^程中因振動帶來的問題。

產(chǎn)品涵蓋光學(xué)平臺、超大型平臺、無磁平臺、自由組合型平臺等等,主動隔振平臺技術(shù)在國際間位居前列,在FPD領(lǐng)域集中的韓國,過關(guān)斬將,成為各大面板廠家設(shè)備的必選產(chǎn)品。已經(jīng)在中國、韓國設(shè)立工廠,為當?shù)乜蛻籼峁┒ㄑu化服務(wù)。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優(yōu)質(zhì)、有保障的產(chǎn)品和服務(wù)。

 

光學(xué)平臺系統(tǒng)

 

  • • AYA 系列-採用蜂窩結(jié)構(gòu)桌面的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩桌面空氣彈簧式隔振裝置,隔振性能升級,機構(gòu)多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構(gòu)增強了水平隔振性能。排除了垂直和水平各個方向的細微振動,滿足干涉儀和全息術(shù)等光學(xué)實驗的需要。此外,各結(jié)構(gòu)的性能也得到了進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通過蜂窩麵包板改善了面板的輕量化但保持了高剛性的特性。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 光學(xué)和激光實驗

 

工作臺型光學(xué)隔振平臺

 

  • • ADZ-A 系列- 桌子型空氣彈簧隔振平臺



    兼具性價比、隔振性能和可操作性的新型系列。
    ADZ-A系列是暢銷的ADZ系列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝面板尺寸。此外,為了使安裝在隔振器上的設(shè)備具有更好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創(chuàng)造了一種高性價比的隔振裝置,無論設(shè)備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應(yīng)用:


 

桌面型隔振平臺

 

  • • AVT系列- 桌面型空氣彈簧隔振平臺



    AVT系列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平臺
    此款臺式減振平臺採用先進的空氣懸架式隔振器。所有隔振功能都集成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應(yīng)對不同的精密機器的特徵和隔振需求,且能夠簡易地構(gòu)建出高性能的隔振環(huán)境。

    典型應(yīng)用:

  • • ME系列-桌面型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌面型主動隔振平臺
    該平臺可以控制三個維度(六個自由度)的振動,同時連續(xù)監(jiān)測負載臺的振動。通過內(nèi)置的驅(qū)動器施加反向位的力,通過這種方式實現(xiàn)振動控制。

 

  • • AET系列- 桌面式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振系統(tǒng)的桌面式鋼蜂窩表面板空氣彈簧式隔振光學(xué)平臺
    隨著激光器本體和外圍設(shè)備的小型化以及光纖技術(shù)的改進,光學(xué)實驗通常不需要像過去那樣長的光路。Meiritsu Seiki一直在提供一系列許多桌面型隔振設(shè)備。AET系列將其與鋼蜂窩表面板相結(jié)合,是小面積光學(xué)實驗的理想隔振裝置。

    應(yīng)用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 系列- 氣動控制的主動隔振系統(tǒng)



    六自由度主動控制為所有自由度的振動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 系列是一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊的裝置,因此可以很容易地集成到客戶的設(shè)備中。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 半導(dǎo)體

 

  • • MRZ系列-主動式氣懸浮系統(tǒng)



    在MAPS系列的基礎(chǔ)上,我們開發(fā)了高性能、合理的主動氣動懸架系統(tǒng)MRZ系列!

    應(yīng)用行業(yè):
    • 測量
    • 半導(dǎo)體工業(yè)

    應(yīng)用:
    • FPD、半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超精密機等。

 

  • • AP大負載空氣彈簧式隔振器



    AP 系列產(chǎn)品是為精密儀器量身定做,由低成本、最適合您精密儀器的隔振系統(tǒng)構(gòu)成的。
    我們的隔振裝置,除了具有優(yōu)秀的性能外,更重視產(chǎn)品的靈活性。當今有越來越多的精密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝置就是我們的 AP 系列。該系列產(chǎn)品不僅擁有優(yōu)越的隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP系列產(chǎn)品可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振環(huán)境。

    應(yīng)用行業(yè):
    • 測量
    • 半導(dǎo)體

    應(yīng)用:

 

明立的隔振產(chǎn)品廣泛應(yīng)用於下列領(lǐng)域:

  • • 顯微鏡系統(tǒng)
  • • 光學(xué)和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導(dǎo)體制造和精密加工
  • • 納米表面分析
  • • 地震和防災(zāi)

 

埃賽力達的LINOS®光機器件使用高精密度的工程技術(shù)和高級的材料,可確保在科學(xué)研究和光子創(chuàng)新中,提供出色的穩(wěn)定性、可調(diào)節(jié)性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機產(chǎn)品,包括Microbench Cage系列、Nanobench Cage系列、鏡座、立柱、支架和位移臺,以及封閉的Tube-C系列、導(dǎo)軌系列和耐用的X-95 Profile系列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板系列可以作為所有光學(xué)實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結(jié)構(gòu),可用於實驗裝置中嚴格的光控制。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式系統(tǒng)

Microbench屬於原先的籠式光機系列,小巧緊湊,可精確居中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全面的光學(xué)和機械部件,是許多光機裝置不可缺少的一部分。經(jīng)過優(yōu)化,可搭配使用從18到31.5毫米直徑的光學(xué)器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學(xué)組件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種底座包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X系列鏡座,可滿足科學(xué)領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和未安裝的光學(xué)器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench系統(tǒng)是一種精密的構(gòu)建系列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench系統(tǒng)更加緊湊。

 

LINOS調(diào)整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調(diào)整架,包括手動調(diào)節(jié)、線性調(diào)節(jié)、X-Y位移臺、旋轉(zhuǎn)位移臺和測角儀,測角儀有多種調(diào)節(jié)範圍和負載能力。

 

LINOS導(dǎo)軌系統(tǒng)

LINOS®導(dǎo)軌系統(tǒng)可用於構(gòu)建光學(xué)工作臺和光束轉(zhuǎn)向系統(tǒng)。堅固的鋁合金上的軸承表面經(jīng)過精密銑削,並進行了耐磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導(dǎo)軌系統(tǒng)成為線性、平面甚至3維結(jié)構(gòu)的理想基座。

 

LINOS管式系統(tǒng)

埃賽力達還提供了封閉的模塊化LINOS管式系統(tǒng),用於要求較高的不透光、無塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式籠式光機系統(tǒng)的補充。

概覽 菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速、高精度、高穩(wěn)定性運動控制產(chǎn)品 明立Meiritsu - 一家生產(chǎn)隔振臺和光學(xué)麵包板的製造商 EXCELITAS - LINOS - 精密光機產(chǎn)品
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